● 用給材料直接通電流的方式蒸發
● 主要用于硅等半導體材料的蒸發
● 簡單易用，受熱面積小
直流加熱蒸發源（Direct Current Heating Cell）
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國成儀器（常州）有限公司目前成熟并應用于市場的產品有：MBE、蒸發源、rheed
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